商品ホームページから抜粋いたします。 MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。 特長 ・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現 ・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用 ・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減 ・F.S. 1SCCM の微少流量対応（SR オプション） 流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算) 対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等 詳細仕様については、上記カタログをご覧ください ・燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション） 取り外すまで動いていたようです。同じものが３台あります。